Proces proizvodnje fosfatnih estrov vključuje predvsem naslednje metode:
Metoda fosforja pentoksida: To je najpogosteje uporabljena metoda z uporabo fosforjevega pentoksida (P2O5), da se neposredno reagirajo z alkoholi za esterifikacijo. Ta metoda je preprosta za upravljanje in enostavna za reagiranje. Trenutno to metodo uporablja približno 70% industrijskih fosfatnih estrov.
Metoda fosforja triklorida: Ta metoda vključuje tri korake. Najprej fosfor triklorid (PCL3) reagira s hidroksilnimi spojinami pri sobni temperaturi, nato hidrolizira in končno nevtralizira, da ustvari fosfatne estre. Ta metoda ima tudi določene aplikacije.
Metoda fosforja oksiklorida: fosfor oksiklorid (POCL3) se uporablja za reagiranje z alkoholi za ustvarjanje fosfatnih estrov. Ta metoda ima tudi določene aplikacije.
Metoda polifosforne kisline: Polifosforna kislina se uporablja za reagiranje z alkoholi za ustvarjanje fosfatnih estrov.